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<b>化学机械抛光(CMP)设备市场概况</b>

化学机械抛光(CMP)设备市场概况

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作者/李丹博士 赛迪顾问 集成电路产业研究中心高级分析师 (北京 100048) 摘要:在芯片微细化和互连多层化的趋势下,CMP工艺是集成电路...